X射线荧光光谱仪另一方面，化学元素遭到高能光子或粒子的照耀，如内层电子被激起，则当外层电子跃迁时，就会放射出特征X射线。特征X射线是一种别离的不延续谱。假如激起光源为x射线，则受激发生的x射线称为二次X射线或X射线荧光。特征x射线显示了特征x射线光谱仪发生的进程。当人射x射线撞击原子中的电子时，如光子能量大于原子中的电子约束能，电子就会被击出。这一互相效果进程被称为光电效应，被打出的电子称为光电子。经过研讨光电子或光电效应可以取得关于原子构造和成键形态的信息。
X荧光光谱仪在新领域的使用
在人们的日常生涯中，很多资料都含有浓度不等的重金属元素，例如铅、铬、汞等。这些元家对人体有毒有害，其含量如**出答应局限，会较大损害人的安康，包罗人的行为才能和智力程度。因而，欧盟针对塑料产物等的新规范曾经生效，对有毒有害元素含量有了更为严厉的限制。因为我国每年有大徽塑材出口。这一规范的施行对我国原资料出产和出口有着较大的影响。而XRF光谱仪技能则特殊合适于用来监控相关资料中的有毒有害元家的含量，该技能已普遍使用于实践出产质较节制。
此外，XRF光谱仪在无损检测方面，具有其他剖析技能无法比较的长处，应用X射线光谱仪扫描办法探测土壤表层下面的是元素是X射线无损检侧技能的一个主要使用范畴。
物理原理

当材料暴露在短波长X光检查，或伽马射线，其组成原子可能发生电离，如果原子是暴露于辐射与能源大于它的电离势，足以驱逐内层轨道的电子，然而这使原子的电子结构不稳定，在外轨道的电子会“回补”进入低轨道，以填补遗留下来的洞。在“回补”的过程会释出多余的能源，光子能量是相等两个轨道的能量差异的。因此，物质放射出的辐射，这是原子的能量特性。

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